天眼查App显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司近日公布了一项关于晶圆缺陷检测的发明专利,旨在提升晶圆生产过程中的质量检测效率。
关键点:
1. 专利名称:晶圆的缺陷确定方法、装置、设备、介质及产品。
2. 申请时间:2024年11月8日。
3. 公布时间:2025年2月25日。
4. 专利类型:发明专利,分类号为G06T7/00。
5. 发明人:黄旭、刘成成、石鑫、韩春营。
6. 代理机构:北京东方亿思知识产权代理有限责任公司。
该专利技术将有助于优化晶圆制造流程,提升检测精度与效率。
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