吉林华微电子股份有限公司专利授权公告:溅射台

天眼查App显示,导语: 吉林华微电子股份有限公司近日获得了一项关于“溅射台”的实用新型专利授权,该专利涉及金属材料的镀覆技术。以下是关键信息汇总:

- 专利名称: 溅射台
- 专利号: CN202420489701.5
- 授权日期: 2025年2月25日
- 申请时间: 2024年3月13日
- 申请人: 吉林华微电子股份有限公司
- 发明人: 沙伟亮、王羽鹏、王子彤、解庆权
- 地址: 吉林省吉林市高新区深圳街99号
- 专利类型: 实用新型
- 主要分类号: C23C14/34
- 代理机构: 成都极刻智慧知识产权代理事务所

该专利涵盖对金属材料的镀覆技术,包括真空蒸发法、溅射法等表面处理工艺。更多详情可联系吉林华微电子股份有限公司。

联系方式:邮编132000,地址吉林省吉林市高新区深圳街99号。

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