天眼查App显示，导语： 北京天科合达半导体股份有限公司及其关联公司江苏天科合达半导体有限公司于2025年3月21日公布了发明专利“一种晶体生长炉内气体控制系统及方法”，涉及晶体生长技术领域。
关键点：
- 专利类型：发明专利
- 核心功能：通过惰性气体和氮气的精准控制，稳定晶体生长炉内的氮气浓度，提高晶体电阻率均匀性和合格率。
- 公布时间：2025年3月21日
- 申请人：北京天科合达半导体股份有限公司、江苏天科合达半导体有限公司
- 地址：北京市大兴区丰远街1号院1号楼
- 技术亮点：采用监测模块检测混合气体中氮气比例，并通过控制阀调节氮气浓度。
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