东方晶源微电子科技发明专利公布——一种晶圆取放装置

天眼查App显示,导语: 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司的一项发明专利“一种晶圆取放装置”于2025年4月8日公布。该专利涉及晶圆取放技术,旨在优化晶圆操作流程并提升设备性能。

关键点:
- 发明专利号:CN202411920105.9
- 公布日期:2025年4月8日
- 核心内容:通过承载柱、支撑盘及限位座等结构实现晶圆的精准取放,取消球头杠杆机构以避免相关问题。
- 特殊优势:可通过调节顶丝灵活调整支撑盘与吸盘的平行程度。
- 申请人:东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
- 地址:北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼

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