天眼查App显示，2025年4月29日，「一种晶圆缺陷检测装置及控制方法」正式进入专利公布阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司，该项测量测试专利涉及晶圆缺陷检测技术领域。据专利信息显示，通过调节明场探测器和/或暗场探测器的位置，能够精准匹配成像倍率改变下的视场变化，实现检测精度可调，并满足暗场成像和明场成像对视野完整性的要求，达到覆盖任一物镜倍率下明暗场成像视野的目的，显著优化成像效果和检测精确度。发明人为刘健鹏、周俊涛、仇志远、张鹏斌、陈鲁。本申请提供了一种创新的晶圆缺陷检测解决方案，具有突破性进展意义。

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