天眼查App显示，2025年4月29日，「一种晶圆明暗场缺陷检测装置」正式进入专利公布阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司，该项测量测试专利涉及半导体制造领域中的晶圆缺陷检测技术。据专利信息显示，该装置通过设置多个倍率的物镜，实现高检测精度低检测速度与低检测精度高检测速度的灵活切换，同时有效控制暗场照明光斑区域，避免明暗场采集视场的串扰，显著优化了检测效果。发明人为陈鲁、张鹏斌、刘健鹏、仇志远、周俊涛。「本申请提供的一种晶圆明暗场缺陷检测装置，设置有多个倍率的物镜，可根据检测精度的需求而灵活切换这些物镜，实现高检测精度低检测速度与低检测精度高检测速度的切换；且在暗场光源端精确配置暗场照明光束，使暗场照明光斑覆盖所需多个物镜倍率下暗场探测器对应的采集视场，通过有效控制暗场照明光斑区域避免明暗场采集视场的串扰。」

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