中山凯旋真空科技股份有限公司溅射镀膜机控制柜专利获授权(电技术专利快讯)

天眼查App显示,2025年4月29日,「溅射镀膜机控制柜」正式进入专利权的授权阶段。申请人为中山凯旋真空科技股份有限公司,该项电技术专利涉及一种集成度高、安全性强的溅射镀膜机控制柜设计。据专利信息显示,该设计显著优化了设备的空间利用率及安装维护便利性。发明人为杨诗锋、陈培绍、彭中业、周婷婷。 「本实用新型公开了一种溅射镀膜机控制柜包括:柜主体,柜主体的内部自上往下延伸设置有分隔板,分隔板将柜主体的内腔分隔成前腔室和后腔室,柜主体的侧面设置有能够打开前腔室和后腔室的柜门组件,后腔室设有用于安装水路器件的水路安装组件及用于安装气路器件的气路安装组件;前腔室设有用于安装工艺输出电源的电源安装组件及用于安装电路控制器件的控制器件安装组件,通过将柜主体分隔成前腔室和后腔室,分别用于配置电路系统与水气路系统,即把水气路系统和电路系统结合至同一柜体,集成度高,安全性高,减少了设备主体的占用空间,并且水气路系统和电路系统在同一个空间,安装接线便利,并且采用侧开门的方式,降低了组装及维护的难度。」

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