天眼查App显示，2025年5月6日，「一种位置误差识别与补偿装置」正式进入专利权的授权阶段。申请人为北京华卓精科科技股份有限公司，该项半导体设备领域专利涉及晶圆对准精度提升技术。据专利信息显示，该实用新型提供了一种位置误差识别与补偿装置，通过实现下载台在装载位和对准位之间移动时的位置误差检测，间接得到下晶圆的位姿变化量，为上晶圆的目标位置补偿提供依据，从而显著优化上晶圆和下晶圆的对准精度。发明人为请求不公布姓名。本专利摘要指出，该装置包括基座、分别固设于基座的下运动台和视觉系统，下载台设有多个标识，视觉系统具有2个且沿第一方向间隔设置，整体设计有助于提高晶圆对准的准确性。

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