天眼查App显示，2025年6月6日，「晶圆对准装置和晶圆对准方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为北京华卓精科科技股份有限公司，该项半导体制造技术领域专利涉及提高晶圆对准稳定性问题的解决方案。据专利信息显示，其可以显著优化晶圆对准的稳定性。发明人为请求不公布姓名。 「本发明提供了一种晶圆对准装置和晶圆对准方法，涉及半导体制造技术领域，以解决晶圆对准稳定性差的问题。晶圆对准装置包括照明模块，用于提供近红外光线；第一分光镜，用于将照明模块提供的近红外光线反射并使得光线透射；显微物镜，其焦面配置为与第一对准标记所在表面重合；第一晶圆运动平台，用于驱动第二晶圆运动；焦平面传感器，用于接收第一、二对准标记的成像信息；成像补偿机构，用于将第一、二反射光线成像至焦平面传感器；第一光线为第一对准标记反射后依次通过显微物镜和第一分光镜的光线，第二光线为第二对准标记反射后依次通过显微物镜和第一分光镜的光线。」

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