天眼查App显示，2025年6月13日，「一种外延前晶圆表面处理方法及装置」正式进入专利权的授权阶段。申请人为江苏永鼎股份有限公司，该项晶圆技术专利涉及晶圆表面瑕疵处理领域。据专利信息显示，该技术通过优化表面处理策略，显著提升了晶圆表面瑕疵处理效率。发明人为沈锋、焦国玺、翁国勇和胡世棋。

本发明公开了一种外延前晶圆表面处理方法及装置，具体包括：设定预设入射角度，对目标晶圆进行X射线全反射扫描，并由探测器捕捉生成三维映射光谱；预处理表面检测记录，利用数据驱动监督训练表面检测模块；接收三维映射光谱，基于表面检测模块进行瑕疵要素识别与整合，确定表面瑕疵分布；协同干法与湿法处理方式，以交叉感染为约束进行全局性寻优，最终确定表面处理策略；设备组响应所述表面处理策略，对目标晶圆进行预定位与瑕疵处理。解决了现有技术中晶圆表面瑕疵处理效率较低的问题，实现了技术上的突破性进展。

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