深圳中科飞测科技股份有限公司一种光学检测设备及其控制方法专利获授权(光学检测专利快讯)

天眼查App显示,2025年6月13日,「一种光学检测设备及其控制方法」正式进入专利权的授权阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司,该项光学检测技术领域专利涉及高功率照明光扫描样品时对大缺陷的回避及空气净化优化。据专利信息显示,该技术能够显著优化光学检测设备性能。发明人为黄有为、陈鲁。 「一种光学检测设备及其控制方法」包括缺陷检测装置和空气净化装置,其中缺陷检测装置的大缺陷回避系统可向照明系统发送关闭快门信号以关闭高功率照明光,从而避免样品上的大缺陷被高功率照明光扫描;同时,空气净化装置的光机仓风场系统通过第一吹扫组件增大第一吹扫气流的气压,进一步提升设备稳定性与检测精度。本发明至少有利于提升光学检测设备的整体性能。

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