武汉鼎泽新材料技术有限公司等CMP水性浆料组合物及其应用专利公布(抛光材料专利快讯)

天眼查App显示,2025年6月13日,「CMP水性浆料组合物及其应用」正式进入专利公布阶段。申请人为武汉鼎泽新材料技术有限公司、鼎泽(仙桃)新材料技术有限公司、湖北鼎龙新材料有限公司及湖北鼎龙控股股份有限公司,该项抛光材料专利涉及化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,简称CMP)技术领域,主要用于浅沟槽隔离(STI)制程中的抛光工艺。据专利信息显示,该技术可实现STI制程自动停止抛光,显著优化CMP后的不均匀性问题,并延长抛光持续时间,同时有效降低过度抛光介电二氧化硅膜的风险。发明人为黄维、肖桂林和刘子龙。「本发明提供一种包含二氧化铈磨粒、电解质改性剂和含氮化学添加剂的水性浆料组合物,能够最小化CMP后不均匀性并避免过度抛光风险。」

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