天眼查App显示,2025年6月13日,「进出料线体、固晶机及进出料方法」正式进入专利公布阶段。申请人为深圳市智立方自动化设备股份有限公司,该项半导体固晶设备技术领域专利涉及半导体制造中的基板传输控制优化。据专利信息显示,该发明实现了有序处理批量基板,精确控制基板传送节奏和位置,显著优化传输效率和流畅性。发明人为肖刚、张正辉、邱鹏。 「本发明涉及半导体固晶设备技术领域,具体公开了进出料线体、固晶机及进出料方法。该进出料线体包括依次设置的第一区域、若干第二区域、第三区域和第四区域;第一区域内,第一传送件用于接收供料单元输出的基板,第一传送件能带动基板向下一区域移动,第一阻挡单元选择性阻挡基板移动至下一区域;第二区域内,第二传送件能带动基板向上一区域和下一区域移动,第二阻挡单元选择性阻挡基板移动至上一区域;第三区域内,第三传送件用于带动基板向下一区域移动,第三阻挡单元选择性阻挡基板移动至下一区域;第四区域的第四传送件用于带动基板传送出进出料线体。该进出料线体有序处理批量基板,精确控制基板传送节奏和位置,提高传输效率和流畅性。」
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