天眼查App显示，2025年7月11日，无锡卓海科技股份有限公司的「一种光程自动检测校准装置、方法及半导体设备」专利正式进入专利的公布阶段。申请人为无锡卓海科技股份有限公司，该项半导体设备专利涉及光程自动检测校准技术。据专利信息显示，该发明可以有效弥补载台的机械误差，保证光源到载台上承载物的光程的稳定，技术效果实现显著优化。发明人为俞天皓、相宇阳、俞胜武。本发明公开了一种光程自动检测校准装置、方法及半导体设备，装置包括载台、发光模块、光线采集模块和主控模块；发光模块用于发出校正光束至载台上，校正光束经载台上的承载物反射后形成反射光束；光线采集模块的入光口位于反射光束的传播路径上，用于实时采集反射光束形成的图像信息并发送至主控模块；主控模块用于根据图像信息确定光斑位置，并在偏差大于预设值时控制载台移动以修正误差。

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