天眼查App显示，2025年7月29日，深圳中科飞测科技股份有限公司的「电子探测装置、方法及电子显微镜」专利正式进入专利的公布阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司，该项基本电气元件专利涉及电子显微镜技术领域，具体涉及一种用于提升电子束检测精度的探测装置与方法。据专利信息显示，该技术通过控制器调节第一张角调整部件和第二张角调整部件的电压，分别控制背散射电子和二次电子的发散角度，使得探测器能够单独探测背散射电子或二次电子，从而实现对电子信号的高选择性采集，技术效果较现有方案有显著优化。发明人为吕肃、陈子林、陈鲁。本发明能够对背散射电子和二次电子的发散程度进行调整，从而的探测器仅探测到背散射电子或二次电子。

免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。