中国科学院上海硅酸盐研究所曾毅研究员团队成功研制出国产高分辨电子背散射衍射仪（EBSD）样机。

该成果打破了此前全球仅有4家国外公司掌握的制造技术垄断，标志着我国攻克了长期被国外垄断的关键材料分析仪器技术。

EBSD是扫描电子显微镜的核心附件，可在微米尺度对材料进行高精度的晶体学显微结构分析。

曾毅团队实现了从硬件到软件的全方位创新，攻克了菊池花样高精度标定方法、核心探测器sCMOS相机以及动态真空密封等多项关键技术难题。

团队创新性提出“局部菊池带检测（LKBD）”方法，使平均角度偏差显著下降38.5%；同时开发了基于“晶面间距高精度计算（误差<5%）”的辅助标定新方法，优化菊池极筛选策略，将平均取向计算精度提升50%以上。

国产EBSD样机已实现花样标定、相鉴定、面分布采集等进口设备的基本功能，保障了系统的准确性和可靠性。

该研制成功实现了科研团队从设备应用者向仪器研制者的跨越，提升了我国在高端材料表征仪器领域的自主创新能力和国际竞争力。

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