天眼查App显示，2025年8月19日，「工作台运动参数校正方法和半导体制造设备」正式进入专利的公布阶段。申请人为东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，该项半导体制造专利涉及工作台运动控制技术。据专利信息显示，该方法实现了对工作台在第一坐标轴方向或第二坐标轴方向上的目标坐标或目标移动量的补偿和校准，达到了提高工作台运动控制精度的技术效果。发明人为邢举、杨延德、韩春营。摘要指出，该方法包括控制工作台沿设定直线方向移动，并测量出工作台在预设参考坐标系中第一坐标轴方向上的校正样本行程和第二坐标轴方向上的偏摆样本位移；根据校正样本行程和偏摆样本位移确定偏摆参数，进而构建偏摆校正策略，用于对工作台在目标移动量上的校准。代理机构为北京智汇东方知识产权代理事务所。

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