2023年第四季度，ASML光刻机新增订单金额92亿欧元(￥716.8亿)，其中56亿欧元(￥436.3亿)来自EUV光刻机。2023全年净销售额276亿欧元(￥2150.6亿)，毛利率51.3％，净利润78亿欧元(￥607.7亿)。

ASML 2023年第四季度售出全新光刻机105台、二手光刻机7台，全年售出全新光刻机421台，年增104台，售出二手光刻机28台，与上年持平，尚未交付的订单总额仍然有390亿欧元(￥3038.6亿)。