2025年5月15日，华泰柏瑞基金推出科创半导体设备ETF（认购代码：588713），聚焦半导体上游环节。该ETF跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，汇聚行业龙头企业，前十大成份股占比达69.02%。数据显示，自基日以来，该指数累计涨幅达41%，显著优于市场主要科技类指数。华泰柏瑞基金表示，在AI技术突破与国产替代背景下，半导体行业有望进入新一轮景气周期，为投资者提供布局硬科技红利的机会。

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