5月18日，万业企业旗下凯世通国产低能大束流离子注入机实现12英寸晶圆产品片过货量突破500万片。离子注入机为芯片制造三大关键装备之一，开发难度仅次于光刻机，此次突破标志着我国在半导体设备领域取得重要进展。
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