天眼查App显示，2025年5月2日，「一种氧化物残靶的提纯回收方法」正式进入专利公布阶段。申请人为福建阿石创新材料股份有限公司，该项无机化学专利涉及光电透明氧化物材料回收技术领域。据专利信息显示，通过控制弧流在500～1200A和弧压在50～120V范围内，可显著减少锆、钼、钽、钨、铪等杂质元素在回收靶材中的含量，进一步提高回收靶材的纯度，实现突破性进展。发明人为林智成、李强、邱用雪、陈本宋、张瑜、罗云侠。 「一种氧化物残靶的提纯回收方法」具体包括以下步骤：将氧化物残靶依次进行酸洗和有机溶剂清洗，得到预处理残靶；将所述预处理残靶采用直流电弧进行蒸发，冷却后回收得到氧化物粉末；所述直流电弧的弧流值为500～1200A，弧压值为50～120V。本发明通过清洗能够去除掉一些生产过程中的标签残留、粉尘脏污等杂质，有效提升回收效率与纯度。

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