天眼查App显示，2025年8月1日，「半导体工艺设备的控制方法及半导体工艺设备」专利正式进入专利的公布阶段。申请人为北京北方华创微电子装备有限公司，该项基本电气元件专利涉及半导体工艺设备控制技术。据专利信息显示，该方法通过控制半导体工艺设备按照生成的工艺路径对晶圆进行循环加工，并在每次循环中对晶圆进行旋转刻蚀，从而实现了晶圆均匀刻蚀，提升了晶圆的工艺加工质量，同时提高了半导体工艺设备的产能。发明人为刘丹。本发明提供了半导体工艺设备的控制方法及半导体工艺设备；其中，在该方法中，首先获取工艺任务的工艺配置信息，并根据工艺配置信息生成工艺路径；然后控制半导体工艺设备按照工艺路径对晶圆进行循环加工，直至完成工艺任务。上述控制方式中，对于工艺任务，通过控制半导体工艺设备按照工艺路径对晶圆进行循环加工，并在每次循环中对晶圆进行旋转刻蚀，从而实现了晶圆均匀刻蚀，提高了晶圆的工艺加工质量；此外，通过工艺路径还实现了半导体工艺设备连续自动执行工艺任务，从而提高了半导体工艺设备的产能。

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