天眼查App显示,2025年8月1日,「一种光声检测系统及激光光斑校准方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司,该项测量测试专利涉及光声测量技术领域,通过在现有膜厚光声测量装置中增设显微镜等光学器件对光路不同位置处的光斑特征参数进行数据采集,并通过主动调节光束调节器提升泵浦光和探测光光斑重合度,从而有效提升光声测量信号的信噪比。据专利信息显示,技术效果提升达显著优化。发明人为马砚忠、崔舒涵、陈鲁。本发明通过主动控制光束调节器的运动,对光斑抖动进行跟踪,实现光斑特征参数的实时调节,提高测量稳定性与精度。
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