天眼查App显示，2025年8月1日，杭氧集团股份有限公司的「一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法」正式进入专利权授权阶段。申请人为杭氧集团股份有限公司，该项气体回收装置专利涉及CVD工艺中稀有气体氦气的高效回收与净化。据专利信息显示，该装置通过碱性干燥、一级过滤、氦气回收膜组、微量杂质脱除以及精密过滤等多级处理，实现氦气的循环净化，回收率显著优化达行业领先水平。发明人为李冬锋、邓波、夏雨涵、沈昕悦、盛文龙、韩小磊、张成雄、姜文瀚、朱程浩、袁士豪、吴秀杰。该技术不仅提高了氦气的利用率，还有效降低了资源浪费，具有良好的环保与经济效益。

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