天眼查App显示，2025年8月1日，「一种质量流量控制器的故障检测装置、检测方法和真空设备」正式进入专利的公布阶段。申请人为苏州迈为科技股份有限公司、苏州迈正科技有限公司，该项控制专利涉及质量流量控制器的故障检测技术。据专利信息显示，该装置包括开关模块、储气模块、压力测量模块、真空泵模块和控制模块，实现在常温范围下进行质量流量控制器的气体流量检测，故障检测装置结构简单，便于现有真空设备的改造。发明人为熊文辉、党晓强、王登志、马文豪、赵百华、王炯、房现飞、杨超、李鑫。本发明公开了一种质量流量控制器的故障检测装置，通过压力数据和流量数据相结合的方式，对质量流量控制器是否存在故障进行判断，提升了检测效率与准确性。

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