天眼查App显示，2025年8月1日，上海鸿辉光通科技股份有限公司申请的「一种用于PECVD制作的喷头装置」正式进入专利权的授权阶段。申请人为上海鸿辉光通科技股份有限公司，该项半导体设备专利涉及PECVD（等离子体增强化学气相沉积）工艺中的喷头结构设计。据专利信息显示，该装置通过设置多级直径递减的喷头管与可旋转调节的通管结构，实现不同喷头的快速切换，使原料气体喷洒更加灵活高效，显著优化了薄膜沉积的均匀性和工艺稳定性。发明人为李云棚。该专利摘要指出，该装置包括中转盒、进管、出孔及带有外环和喷头管的喷头机构，通过螺纹连接和旋转调节结构，实现喷头模块的快速更换与精准对位，从而提升设备操作便捷性与工艺适应性。代理机构为上海湾谷知识产权代理事务所（普通合伙）。

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